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반도체 핵심 제조장비 국산화…특허청이 앞장선다

경제

연합뉴스TV 반도체 핵심 제조장비 국산화…특허청이 앞장선다
  • 송고시간 2023-05-26 07:27:58
반도체 핵심 제조장비 국산화…특허청이 앞장선다

[앵커]

외국에서 선도하고 있는 기술을 국산화하는 데에는 어려움이 따릅니다.

특히 반도체 분야의 경우 세밀한 부분까지 특허 등으로 기술을 보호하고 있는데요.

특허청이 이런 반도체 핵심장비에 대한 국산화에 팔을 걷어붙였습니다.

이호진 기자입니다.

[기자]

경기도 이천의 한 반도체 제조장비 생산업체입니다.

반도체 웨이퍼가 가득 담긴 박스가 기계 안에서 자동으로 돌아갑니다.

이 기계 안에서는 웨이퍼 표면에 각종 가스를 분사해 얇은 막을 증착시키는 설비가 들어 있습니다.

반도체 제조 공정에서 반드시 필요한 원자층 증착 장치입니다.

그동안 외국산 장비에 의존해 왔는데, 국내 기업이 최초로 국산화에 성공했습니다.

이 기술 국산화에는 특허청과 기업 간의 협업이 중요한 역할을 했습니다.

이 기업은 특허청의 특허 기반 연구개발 사업에 참여해 특허분석을 통해 핵심부품 구조에 관한 설계 아이디어를 얻었고, 장비 성능 개선을 위한 연구개발 방향과 분쟁 예방전략을 동시에 지원받았습니다.

이를 통해 특허분쟁의 우려가 없는 기술 개발에 성공했고, 박막공정 장비 분야 우수특허 10건을 확보했습니다.

<이성한 / (주)유진테크 전무이사> "선진 업체들의 기술 발전 동향, 이런 것을 파악을 하고 나름대로 우리 기술을 핵심 특허화하는 데 많은 도움을 얻어서…"

특허청은 기술 국산화와 특허분쟁을 피하기 위해 연구개발 초기 단계부터 전 세계 특허정보를 분석했습니다.

또 특허기술 공백 영역에 대한 유망 특허 선점 등도 지원했습니다.

<이인실 / 특허청장> "차세대 반도체를 포함한 국가전략기술을 확보를 하고 핵심특허 부분을 선점해야 하기 때문에 IP R&D를 확대를 하고 이를 통해 세계 시장에 나갈 수 있도록…"

특허청은 반도체 분야뿐만 아니라 이차전지, 바이오 등 국가전략기술분야로 정책을 확대해 나갈 계획이라고 밝혔습니다.

연합뉴스TV 이호진입니다. (jinlee@yna.co.kr)

#반도체장비 #국산화 #특허청 #특허출원

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